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低床アクティブ除振台 αL4X-911R2

特許機器株式会社

最終更新日:2026/11/06

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  • 低床アクティブ除振台 αL4X-911R2
走査型電子顕微鏡(SEM/FIB)用
【αL4X-911R2】は、床から伝わる微振動を低周波数領域から能動的に制御し、測定・解析に適した安定した環境を実現する低床アクティブ除振台。0.5Hzから優れた除振性能を発揮し、3軸6自由度のアクティブ制御により、さまざまな方向から伝わる振動を抑制する。またセルフチェック機能を搭載し、自動調整にも対応。全高を低く抑えた省スペース設計により、クリーンルームやラボ、研究施設など、設置スペースに限りのある環境にも導入しやすく、測定・解析環境の安定化に貢献する。

製品カタログ・資料

低床アクティブ除振台【走査型電子顕微鏡用】
低床アクティブ除振台【走査型電子顕微鏡用】

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:1.09MB床から伝わる微振動を低周波数領域から能動的に制御し、測定・解析などに適した安定した環境を実現します。 ◆0.5Hzの低周波数領域から優れた除振性能を発揮 ◆3軸6自由度のアクティブ制御 ◆セルフチェック機能を搭載し、自動調整にも対応 ◆全高を抑えた省スペースデザイン ◆クリーンルームやラボ・研究施設など、設置スペースに限りのある環境にも適用可能 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。 関連リンク https://www.tokkyokiki.co.jp/product-nanotechnology-sem_appli_active_isolation_system/

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