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レアメタル系スパッタリングターゲット

樋口経済企画研究所

最終更新日:2023/09/07

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  • レアメタル系スパッタリングターゲット
タンタル、ニオブ、ジルコニウム、チタン
樋口経済企画研究所 は、半導体や電子部品に蒸着させる高純度高品質のターゲットをユーザーが指定する合金材料と形状、かつ短納期で提供。タンタル合金の事例:90%Ta10W、97.5Ta2.5W、92.5Ta7.5W、60%Ta40Nb。寸法と形状の事例は次の通り。円筒形:外径50~300mm・内径30~280mm・長さ100~4000mm、円板形:直径25~400mm・厚み3~28mm。

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