レアメタル系スパッタリングターゲット

樋口経済企画研究所 は、半導体や電子部品に蒸着させる高純度高品質のターゲットをユーザーが指定する合金材料と形状、かつ短納期で提供。タンタル合金の事例：90％Ta10W、97.5Ta2.5W、92.5Ta7.5W、60％Ta40Nb。寸法と形状の事例は次の通り。円筒形：外径50～300mm・内径30～280mm・長さ100～4000mm、円板形：直径25～400mm・厚み3～28mm。