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精密両面平板研磨機 HDSシリーズ

Shanghai Leading Semiconductor Technology Development Co.,Ltd

最終更新日:2025/09/29

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高強度、高精度研磨技術のために設計

【HDSシリーズ】は、高強度、高精度研磨技術のために設計された両面平板研磨機。精密エアクッション減圧構造、上下支持盤内蔵循環水冷システム、正確な圧力制御を実現するための閉ループ圧力制御システムを採用。研磨盤平面度自動調整機能(スターターホイール自動操舵制御による)を搭載。オプションにて水冷上ベースと下ホイールベースを統合できる。最大下板外径／内径：1201.5mm／446.5mm。

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住所：: 〒 -
中国上海市长兴岛长涛路377号

Web：: https://www.lstd-cn.com/

TEL：: 09043666749