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セラミック吸着プレート

有明マテリアル(株)

最終更新日:2017/01/12

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  • セラミック吸着プレート
吸着部に多孔質アルミナを採用
【セラミック吸着プレート】は、多孔質セラミックの特性を活かし基板全体を均等に固定することができる製品。吸着部に多孔質アルミナ、外枠部にSUS304を使用した構造を実現。薄型半導体デバイス、3次元積層メモリ用基板の固定、フリップチップボンダー用吸着ステージなど用途は広範。円形で4種類、角板で2種類の標準品を用意。

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