空間清浄度モニタ TAS-170 SCM
最終更新日:2015/07/24
このページを印刷異物を検知したその瞬間を帯グラフでリアルタイムに表示
【TAS-170 SCM】は、クリーンルームやクリーンベンチに置いて環境の清浄度をリアルタイムかつ容易に計測できる装置。異物発生の瞬間を検知する「瞬間機能」により、異物発生の原因究明に威力を発揮する。0.5μmと2.5μm以上の2種類の微粒子を測定でき、異物個数をリアルタイムにデジタル表示すると同時に、すべての異物量をリアルタイムにアナログ表示する。またバックアップモード機能も有しており、測定値は1分毎に1時間分、1時間毎に1日分、1日毎に1ヶ月分が本体内に保管されるため、履歴を遡って確認することができる。オプションの専用通信ソフトウェア「170-SCM-SW」をPCにインストールして本体を接続することで、バックアップデータの抽出も可能。