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クリーンルーム対応プレインベア プレインブローPB／PBUシリーズ
最終更新日:2014/01/31
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基板感知のセンサが不要
【プレインブローPB／PBUシリーズ】は、独自の構造により基板感知のセンサが不要のプレインブロー。ユニット上部プレインベアがエアのON・OFFのスイッチの役割を果たすことで、設備投資のイニシャルコストを大幅に低減できる。エアの使用はガラス基板の下部のみとなり、低コストでパーティクルの飛散も抑止可能で、クリーンルームに対応。
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