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製造装置用フィルタユニット

(株)日立産機システム

最終更新日:2025/10/21

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  • 製造装置用フィルタユニット
半導体製造装置などの局所クリーン化に対応
本製品は、クリーンルームや製造装置などの局所空間のクリーン化に最適なファンフィルタユニット。半導体製造装置、搬送装置、保管庫、クリーンブースなどの用途に適している。
    　　　　　　　　
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クリーンエア装置総合カタログ
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(株)日立産機システム

日立産機システムは日立グループの産業用電機機械メーカーです。

(株)日立産機システム
〒 101-0021  千代田区外神田一丁目5番1号 住友不動産秋葉原ファーストビル

https://www.hitachi-ies.co.jp
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企業基本情報

社名：
(株)日立産機システム
住所：
〒 101-0021
千代田区外神田一丁目5番1号 住友不動産秋葉原ファーストビル
Web：
https://www.hitachi-ies.co.jp