製造装置用フィルタユニット
最終更新日:2022/08/17
このページを印刷半導体製造装置などの局所クリーン化に対応
本製品は、クリーンルームや製造装置などの局所空間のクリーン化に最適なファンフィルタユニット。半導体製造装置、搬送装置、保管庫、クリーンブースなどの用途に適している。
製品カタログ・資料
- クリーンルーム関連機器
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:16.54MB
関連製品カタログ・資料
会社情報
日立産機システムは日立グループの産業用電機機械メーカーです。
(株)日立産機システム
〒 101-0021 千代田区外神田一丁目5番1号 住友不動産秋葉原ファーストビル
https://www.hitachi-ies.co.jp詳細はこちら