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技術資料 Druck セミコンアプリケーション事例(ドライエッチング)

日本ベーカーヒューズ(株)＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン(株)

最終更新日:2023/07/14

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ドライエッチングのトレンチ加工を支える圧力制御の事例を紹介

本資料は、重要な半導体プロセスにおけるエンド・ツー・エンドの圧力管理の事例について解説した技術資料。ドライエッチングは、スマートフォンからPCまでさまざまな電子機器に使われている積層型ICチップの全体構造を決定するキープロセスである。ドライエッチングに使用するエッチング材料としては主に、ハロゲン化化合物、酸素、オゾン、水素、炭化水素および窒素酸化物のようなドライガスが用いられ、真空チャンバー内でこれらのガスはプラズマ化されて高い反応性を有する気体へと変化する。プラズマイオンは、SiO 2やLow-K材料のような絶縁材料と選択的に反応して、ウェハ表面から不要な部分を除去し、次のプロセスである化学蒸着(CVD)で配線材料または絶縁材料によって堆積される深いトレンチを形成する。

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: 当社ベーカーヒューズは世界120カ国以上で事業を展開し、従業員数は68,000人。世界中のエネルギーおよび産業のお客様にソリューションを提供するエネルギーテクノロジーカンパニーとして、人々と地球にとってより安全で、よりクリーンで、より効率的なエネルギーの創出に取り組む会社として運営しています。

日本法人である日本ベーカーヒューズ(旧:GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ )は、ウェイゲート・テクノロジーズブランドの非破壊検査機器、パナメトリクスブランドの水分計、分析計、流量計、ドラックブランドの圧力計、圧力校正器、ロイターストークスブランドの放射線モニタリング用途のための高性能なガンマ線・中性子検出器などを提供しています。
ベーカーヒューズ・エナジージャパン(旧:GEエナジー・ジャパン)はベントリー・ネバダブランドの機器の振動計測、状態監視装置の販売、診断サービス、ネクサス・コントロールブランドのタービンおよびコンプレッサ制御プラットフォームと分散制御システム(DCS)やサイバーセキュリティを提供しています。
日本ベーカーヒューズ(株)＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン(株)
〒 104-0052 中央区月島 4-16-13
電話 : 03-6890-4510

https://www.bakerhughes.com/jp
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社名：: 日本ベーカーヒューズ(株)＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン(株)

住所：: 〒 104-0052
中央区月島 4-16-13

Web：: https://www.bakerhughes.com/jp

TEL：: 03-6890-4510

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