製品ナビは、工業製品からエレクトロニクス、IT製品まで、探している製品が見つかります
すべてのカテゴリー
  1. トップ
  2. 企業情報
  3. (株)アルファテック
  4. 製品
  5. 半導体用排ガス除害装置 ALPHA CLEAN

半導体用排ガス除害装置 ALPHA CLEAN

(株)アルファテック

最終更新日:2014/01/31

このページを印刷
  • 半導体用排ガス除害装置 ALPHA CLEAN
反応領域の状態を常時モニタリング
【ALPHA CLEAN】は、反応領域の状態を常時モニタする半導体用排ガス除害装置。独自の除害剤により交換回数の減少、交換コストの低減を実現。効果的に低ランニングコストで安全に有毒ガスを無害化するシステムで、高濃度大流量用途にも対応。コンパクトで、熱暴走も未然に捕捉、塔内異常の警報が行え、メンテナンス不要。
    　　　　　　　　

一緒に閲覧されている製品

半導体用排ガス除害装置 ALPHA CLEANのお問い合わせ

お問い合わせはこちら

その他製品一覧

PDF情報をもっと見る>>
ニュースリリース情報をもっと見る>>
最新展示会情報をもっと見る>>