半導体用排ガス除害装置 ALPHA CLEAN
最終更新日:2014/01/31
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反応領域の状態を常時モニタリング
【ALPHA CLEAN】は、反応領域の状態を常時モニタする半導体用排ガス除害装置。独自の除害剤により交換回数の減少、交換コストの低減を実現。効果的に低ランニングコストで安全に有毒ガスを無害化するシステムで、高濃度大流量用途にも対応。コンパクトで、熱暴走も未然に捕捉、塔内異常の警報が行え、メンテナンス不要。
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