基板異物検査装置 YPI-200

【YPI-200】は、小型・安価でありながら、シリコンウエハやガラス基板の異物測定ができる基板異物検査装置。これまで難しかったガラス基板の表裏分離測定も可能。光学方式：レーザ光散乱方式、光源：半導体レーザ、検出素子：高感度低暗電流シリコンフォトダイオード、粒径チャンネル：4チャンネル(最小粒径サイズ0.5μm)。