電子源／イオン源 デンカTFE・LaB6カソード／L-MION

【デンカTFE・LaB₆カソード／L-MION】は、分析および半導体検査／製造分野などで利用される電子源／イオン源。TFE(ZrO／Wエミッター)は、高度なニードル加工技術で幅広いチップ先端曲率に対応でき、ばらつきが小さく再現性のよい電子放射特性が得られる。LaB₆カソードは、フローティング・ゾーン法で育成した高純度で高品質な単結晶を用いているため、安定な電子放射特性が得られる。また、L-MION(室温動作型Gaイオン源)は、タングステン・ニードルの表面を特殊加工してあるため、液体ガリウムに対する濡れ性に優れ、安定した液体ガリウムの輸送により、イオン放射特性を達成している。SMT／TEM、デバイス診断ツール電子線露光装置、TEM用試料作成装置などの用途に好適。