質量分析計 プロセスガスモニタ
最終更新日:2014/01/31
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高真空から加圧サンプルまでサンプリング
【プロセスガスモニタ】は、高真空から加圧サンプルまでのサンプリングが可能なカート式差動排気付き4重極型質量分析計。Dymaxion分析計にポンプシステムとサンプルインレットマニホールドのほか、カートを装備したモバイルカートシステムで、ガス、真空、半導体に対応。米国AMETEK社製で、各種プロセスモニタリングに最適。
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