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(1)精度:±2%
(2)流量:150、200、400、1000L/min.(選択)
(3)混合ガス種類:N2、CO2、O2(他のガスは応相談)
(4)サイズ:D420×H194×W235mm(タイプによる)
(5)重量:約9kg(タイプによる)