ジャケットヒーターシステム

本製品は、200℃の高温加熱が可能なクリーンルーム用途に適した半導体装置用低発塵性ジャケットヒーターシステム。場所をとらないコンパクトサイズでコールドスポットがなく温度が均一、各ジャケットヒーターの温度制御とモニタリングを通信機能にて実行する仕組みで、ジャケットヒーター40個分をモニタできる。また、多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントにより堅牢性・安全性に優れ、フレキシブルで着脱が容易なほか、各ジャケット毎のPID制御で温度均一性を高め異常箇所を素早く認知、温度制御線、電源供給線、モニタ費を低減する。