コントローラ一体型広帯域真空計 CC-10(フランジ：ICF70)
最終更新日:2019/02/20
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環境に配慮したRoHS適合
【CC-10(フランジ：ICF70)】は、クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計。大気圧から高真空まで切替え操作せずに計測でき、取付け寸法の省スペース化が可能。大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読取ることで真空計測を実行、精度・再現性に優れ、高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化して圧力を測定、ホットカソードゲージとは異なり、フィラメントを持たず堅牢で信頼性の高い計測を実現する。
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