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- 双扉式蒸着重合装置
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.91MB【MDP2015】は、自動車用ヘッドランプなど、大型基板に対応するシンプルかつハイタクトな生産性重視の樹脂性基板成膜装置。樹脂基板に抵抗加熱蒸着法によるアルミニウムなどのメタル膜を成膜後、腐食を防止するポリマー保護膜をプラズマ重合により成膜する。扉を左右に2つ設けることにより、プロセス中にワークの交換と蒸発物の装着を効率に行うことが可能。また装置構成の最適化により、高生産性・低ランニングコストを実現。特殊ニーズに対応したカスタマイズも可能。
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