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- 微細欠陥検査装置
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.71MB高解像度カメラと高精度X-Yステージを用いた2次元の検査装置。光学フィルム、シートやタッチパネルなどの表面傷、異物の検査や欠陥検査に適している。光学分解能「1.8μm」で、非常に高精細な検査が可能。寸法測定にも対応し、2次元の打ち抜き加工品などの検査も行える。
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