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熱酸化分解方式排ガス除害装置 KT-1000

カンケンテクノ(株)

最終更新日:2015/06/04

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  • 熱酸化分解方式排ガス除害装置 KT-1000
安全・コンパクト設計で3段階処理を実現
【KT-1000】は、半導体製造設備(CVD装置)から排出される危険で有害なガスを無害化する熱酸化分解方式排ガス除害装置。安全・コンパクトな設計の高効率除害装置で、前処理、熱分解処理、後処理の3段階処理を実現。吸引圧力を一定に保つインバータ制御が行え、ランニングコストが安い。クリーンルーム内にも設置が可能。
    　　　　　　　　

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