高精度、高信頼性を保持
【62XXHシリーズ】は、可動磁石アクチュエータ技術と光学位置検知器設計を組み合わせたガルバノスキャナ。ビーム直径は最も需要の多い1~15mmの範囲を備え、アクチュエータ設計技術によりポジショニング速度の高速化を実現しつつ、低コストで小型化を実現。シリーズは、超小型モデル「6200H」から、ビーム径φ75mm対応のミラーを振ることが可能な大型モデル「6260H」まで、多彩にラインアップを用意。また、ガルバノスキャナを動作させるために必要な制御用のサーボドライバや専用ミラーも各種取り揃えている。