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蒸着装置 AAMF-C1650SPBR型

神港精機(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • 蒸着装置 AAMF-C1650SPBR型
リフトオフプロセス用
【AAMF-C1650SPBR型】は、ウエハプロセス用として、特に化合物半導体向け配線膜形成用途を目的として、設計開発されたリフトオフプロセス用高真空蒸着装置。電子銃蒸発源と移動式抵抗加熱蒸発源を装備し、冷却効果の高い特殊基板冷却機構を装備しているため、高品質でリフトオフ性に優れた薄膜作製を実現可能。

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企業基本情報

社名:
神港精機(株)
住所:
〒 103-0022
中央区日本橋室町4-2-16楠和日本橋ビル2F
Web:
http://www.shinko-seiki.com/