多点バリア放電方式を採用、優れたコストパフォーマンス
【SKIp-SLIt】は、スリットタイプで100mmと幅が広大気圧プラズマ装置。パワー調整やガス流量調整機構を装備し、緻密な処理を実現する。電源を内蔵したコントロール部が省スペースであるため、インラインへの搭載が容易。また、処理対象物にダメージを与えることがない。主な仕様は以下のとおり。
(1)処理面積:約100mm×10mm程度
(2)使用ガス:Ar
(3)プロセス圧力:大気圧
(4)POWER:0〜175W
(5)推奨ガス:アルゴン ※他のガスでも放電可能
(6)ガス流量:最大100L/mi
n(7)ガス流量制御機構:浮子式orMFC
(8)電源:AC100V・50/60Hz
(1)処理面積:約100mm×10mm程度
(2)使用ガス:Ar
(3)プロセス圧力:大気圧
(4)POWER:0〜175W
(5)推奨ガス:アルゴン ※他のガスでも放電可能
(6)ガス流量:最大100L/mi
n(7)ガス流量制御機構:浮子式orMFC
(8)電源:AC100V・50/60Hz