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大気圧プラズマ装置 スリットタイプ SKIp-SLIt

(株)魁半導体

最終更新日:2015/11/25

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  • 大気圧プラズマ装置 スリットタイプ SKIp-SLIt
多点バリア放電方式を採用、優れたコストパフォーマンス
【SKIp-SLIt】は、スリットタイプで100mmと幅が広大気圧プラズマ装置。パワー調整やガス流量調整機構を装備し、緻密な処理を実現する。電源を内蔵したコントロール部が省スペースであるため、インラインへの搭載が容易。また、処理対象物にダメージを与えることがない。主な仕様は以下のとおり。

(1)処理面積:約100mm×10mm程度
(2)使用ガス:Ar
(3)プロセス圧力:大気圧
(4)POWER:0〜175W
(5)推奨ガス:アルゴン ※他のガスでも放電可能
(6)ガス流量:最大100L/mi
n(7)ガス流量制御機構:浮子式orMFC
(8)電源:AC100V・50/60Hz

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企業基本情報

社名:
(株)魁半導体
住所:
〒 600-8897
京都市下京区西七条御前田町50
Web:
http://www.sakigakes.co.jp/

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