セミ生産向け簡易大気圧プラズマ装置 S5000-BM
最終更新日:2015/11/25
このページを印刷絶縁物上の金属を破壊せずに処理が可能
【S5000-BM】は、スリットタイプのセミ生産向け大気圧プラズマ装置。パワー調整やガス流量調整機構を装備し、緻密な処理を実現する。大気圧環境下で電荷のダメージがないプラズマを安定して生成するが、窒素のみをプラズマ化するため、ArやHeなどの高価なガスを必要としない。また熱によるダメージがほとんどなく、熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能。さらに、コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではないため、処理対象物へ電荷のダメージを与えることがない。AC100Vのコンセントで動作し、さまざまな状況で使用可能、メンテナンスが容易。主な用途は、ワイヤーボンディングの前処理、ガラス基板洗浄、金属薄膜への処理など。