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＜ロールtoロール式フィルム搬送装置 RTR-300＞
任意の速度・テンションで処理を行え、高いプロセスの自由度を保有
【RTR-300】は、希望する処理をフィルムに施し、巻き取り搬送する装置。任意の速度・テンションで処理が行える、高いプロセスの自由度を保有している。フィルムの連続処理に適しており、開発機や小ロット量産機としての使用も可能。主な処理例は次の通り。
・フィルム洗浄
・塗膜
・加熱処理
・湯葉の巻き取り
＜真空プラズマ装置 YHS-R＞
メンテナンスが非常に容易
【YHS-R】は、表面改質に特化した卓上タイプの真空プラズマ装置。ワンタッチフルオート機能、およびオートリーク機能を搭載しているため、取り扱いが非常に容易で、真空機器初心者でも扱うことができる。また、AC100Vのコンセントで動作するため、さまざまな状況での使用が可能。ラボレベルでプラズマ処理の効果を試すのに適した価格帯となっている。薄膜形成・陰極接合の前処理などのほか、多くの用途に使用可能。
(1)ワイヤーボンディングの前処理：LSIにダメージを与えることなく電極の表面を洗浄し、ボンディング性能を向上。
(2)ガラス基板洗浄：光学ガラスや電子デバイス製作用の基板に付着した有機物の洗浄。
(3)金属薄膜への処理：絶縁体上の金属薄膜へもダメージなく親水化(コロナ放電では不可能)。