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高温タイプ 真空均熱ヒータ

(株)オーナルテック

最終更新日:2014/02/01

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  • 高温タイプ 真空均熱ヒータ
850℃(短時間900℃)まで使用可能
本製品は、真空装置・液晶・CVD・スパッタなどの加熱用ヒータ。±2%以内の均熱精度を有したうえ、スピーディな昇温特性、変形が少なく長寿命といった優れた性能も保持。脱ガスが少なく超高真空中でも使用実績があり(10−7Pa中)、セラミックヒータ(PBN)でmax1300℃仕様も用意可能。標準品はφ3〜φ12インチ、角型は最大600×1000。

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企業基本情報

社名:
(株)オーナルテック
住所:
〒 567-0034
茨木市中穂積3丁目14番41号
Web:
http://www.ohnaru.com/