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ダイアフラムポンプ マイクロポンプ

日機装(株)

最終更新日:2014/01/31

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  • ダイアフラムポンプ マイクロポンプ
分析装置等の小型化、携帯化に貢献
【マイクロポンプ】は、圧電素子駆動タイプのダイアフラムポンプで、定量性に優れ、自吸可能。MEMS技術で製作され、小型、軽量、薄型で、分析装置/システムの小型化、携帯化に貢献する。流量:1〜50μリットル/min、圧力:最大30kPa、印加電圧:120V、消費電力:10μW、材質:単結晶シリコン、ガラス、外形寸法:19×13×1.4mm。

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