試料作製用研磨システム ターゲットシステム

【ターゲットシステム】は、研究開発や不良解析を行う実験室において、高精度な試料作製を実現する研磨装置。目視可能なターゲットはもとより、酸化物層やコーティングのマイクロクラックなど、隠れた不可視のターゲットまで高精度な位置決めにより目標位置まで研磨することができる。φ200mm円板用の研磨／琢磨装置であるターゲットマスター、目標位置が可視である試料の位置合わせや測定に使用するターゲットZ、目標位置が不可視の試料用のターゲットX、研磨剤と潤滑剤を管理・供給するターゲットドザーなどから構成され、アップグレード可能なモジュール構成により用途に応じたシステムを組むことができる。特別なスキル無しに短時間で高精度な試料が作成可能である。