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ドライポンプ LR／HRシリーズ

(株)アルバック

最終更新日:2019/02/19

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  • ドライポンプ LR／HRシリーズ
低騒音化を図り、メンテナンス性も向上
【LR／HRシリーズ】は、メンテナンス性の向上と低騒音化を図り、CE対応可能(オプション)としたドライポンプ。LRシリーズは低温領域で均熱化、PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適。HRシリーズは高温領域で均熱化、昇華性排気物質を気体の状態で排出可能。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
(株)アルバック
住所：
〒 253-8543
茅ヶ崎市萩園2500
Web：
http://www.ulvac.co.jp/