製品カタログ・資料
- 原子層蒸着(ALD)用バルブ 超高純度用バルブ 原子層プロセス用
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:2.26MB【原子層蒸着(ALD)用バルブ】は、ALDプロセスの過酷な要求に応えるため、サイクル・ライフが非常に優れ、高速の開閉可能です。標準と高温モデルで、さまざまなALDプロセス流体に対応。
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会社情報
- 日本スウェージロックFST
〒 663-8142 西宮市鳴尾浜1-1-1
電話 : 0798-77-1500
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ALD(原子層蒸着)用途での性能を最適にするため、アクチュエーターやインジケーター、ソレノイドなど各種オプションも取り揃えています。
【特長】
・非常に優れたサイクル・ライフを実現
・高速の開閉機能 (オープン/クローズに要する時間は5ミリ秒未満)
・高温下でも安定した流量と再現性を実現
・膨潤とコンタミネーションへの耐性を高め、シール性能の優れたシート
・流路から障害物を一掃し、たまり部分を最小限に抑えるボディ・デザイン
※詳細は、資料ダウンロードをしていただくか、スウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。