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超高純度用 原子層蒸着(ALD)用バルブ

日本スウェージロックFST

最終更新日:2021/10/21

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  • 超高純度用 原子層蒸着(ALD)用バルブ
高速開閉、非常に優れたサイクル・ライフ。大流量や高温環境、腐食性流体に対応
スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。
ALD(原子層蒸着)用途での性能を最適にするため、アクチュエーターやインジケーター、ソレノイドなど各種オプションも取り揃えています。

【特長】
・非常に優れたサイクル・ライフを実現
・高速の開閉機能 (オープン/クローズに要する時間は5ミリ秒未満)
・高温下でも安定した流量と再現性を実現
・膨潤とコンタミネーションへの耐性を高め、シール性能の優れたシート
・流路から障害物を一掃し、たまり部分を最小限に抑えるボディ・デザイン

※詳細は、資料ダウンロードをしていただくか、スウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。

製品カタログ・資料

原子層蒸着(ALD)用バルブ 超高純度用バルブ 原子層プロセス用
原子層蒸着(ALD)用バルブ 超高純度用バルブ 原子層プロセス用

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:2.26MB【原子層蒸着(ALD)用バルブ】は、ALDプロセスの過酷な要求に応えるため、サイクル・ライフが非常に優れ、高速の開閉可能です。標準と高温モデルで、さまざまなALDプロセス流体に対応。

会社情報

日本スウェージロックFST

私たちはお客さまと共に挑み続けます。

日本スウェージロックFST
〒 663-8142  西宮市鳴尾浜1-1-1
電話 : 0798-77-1500

https://www.japan.swagelok.solutions
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