製品ナビは、工業製品からエレクトロニクス、IT製品まで、探している製品が見つかります

超高純度用原子層蒸着(ALD)用バルブ

日本スウェージロックFST

最終更新日:2021/10/21

このページを印刷

高速開閉、非常に優れたサイクル・ライフ。大流量や高温環境、腐食性流体に対応

スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。
ALD(原子層蒸着)用途での性能を最適にするため、アクチュエーターやインジケーター、ソレノイドなど各種オプションも取り揃えています。

【特長】
・非常に優れたサイクル・ライフを実現
・高速の開閉機能 (オープン/クローズに要する時間は5ミリ秒未満)
・高温下でも安定した流量と再現性を実現
・膨潤とコンタミネーションへの耐性を高め、シール性能の優れたシート
・流路から障害物を一掃し、たまり部分を最小限に抑えるボディ・デザイン

※詳細は、資料ダウンロードをしていただくか、スウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。

流体機器│バルブ/継手│

製品カタログ・資料

: 原子層蒸着(ALD)用バルブ　超高純度用バルブ　原子層プロセス用
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：2.26MB【原子層蒸着(ALD)用バルブ】は、ALDプロセスの過酷な要求に応えるため、サイクル・ライフが非常に優れ、高速の開閉可能です。標準と高温モデルで、さまざまなALDプロセス流体に対応。

関連製品カタログ・資料

ALDバルブ技術のブレイクスルー「ALD20超高純度バルブ」

会社情報

: 工場最適化に、Swagelokのソリューションを。
日本スウェージロックFST
〒 663-8142 西宮市鳴尾浜1-1-1
電話 : 08033280693

https://www.japan.swagelok.solutions
詳細はこちら

製品ご紹介

超高純度用原子層蒸着(ALD)用バルブのお問い合わせ

お問い合わせはこちら

アンケートご協力のお願い

企業ロゴ

新着製品情報

: リリーフバルブ TRK seriesユニコントロールズ株式会社

: 国内防爆対応ヒーター付きレギュレーター KEVシリーズ日本スウェージロックFST

: ブリーザーバルブ ELEVENTREMBE(株)

: 台湾MIZUP製手動ハンドル式ボールバルブ合同会社JTARC

: 高低温対応流体コネクタアスニクス(株)

: 水素用ニードルバルブマキシメーター・フルード・テクノロジーズ(株)

: チェックバルブ(株)朝日ラバー

: サニタリーピンチバルブ BPVシリーズ株式会社フジキン

ランキング

: 軽量継手ワンタッチジョイント Lタイププラグ(株)ワモト

: CPCカップリング PLQ2シリーズサンワ・エンタープライズ(株)

: 計装用マニホールド・システム日本スウェージロックFST

: 空気式バルブアクチュエータ VトルクⅡ(株)オーバル

: 高圧レギュレータ ARH500シリーズ(株)フクハラ

: エアー駆動式コンパクト水素用バルブ 15V4M071-H2-CN…マキシメーター・フルード・テクノロジーズ(株)

: 定量吐出バルブ空圧式ダイヤフラム弁 V730-SFUHユニコントロールズ株式会社

: 熱水用カプラ HW型日東工器(株)

: 安全計装システム対応スマートESDデバイス AVP77□／…アズビル(株) アドバンスオートメーションカンパニー

: 高低温対応流体コネクタアスニクス(株)

関連キーワード

企業基本情報

社名：: 日本スウェージロックFST

住所：: 〒 663-8142
西宮市鳴尾浜1-1-1

Web：: https://www.japan.swagelok.solutions

TEL：: 08033280693

おすすめ情報

流体システムのアセンブリー製作なら、スウェージロックにお任せください。
スウェージロックならではの高品質のアセンブリー、パネル、エンクロージャーをお届けします。プロによる一貫した流体システムのアセンブリーから、テスト、検査、梱包まで行います。なお、すべてのアセンブリーにはSwagelokリミティッド・ライフタイム保証が付いています。
スウェージロック・ジャパンは、防爆仕様の設計から品質検査までをワンストップでカバーする、防爆型バルブ・システム・ユニットの受託製作サービスを行っている。製作図の作成が不要で、小ロット発注や世界各地で現地調達が可能なほか、組立て工程の生産性向上とモジュール単位での品質保証を実現。優れた安全対応機器と高い気密性配管の採用により、誤操作・誤作動を低減。安全性と作業性を両立した配管システムの構築をサポートする。国内防爆・国際防爆に対応。