OCT光スキャンセンサー WLI1002B

【WLI1002B】は、多層膜分析、欠陥検査などに適用することが可能なセンサー。薄膜から厚板まで対応し、ギャップや表面形状も確認できる。さらに光マルチプレクサで多分岐することで、多点計測も可能となる。また5軸微調整が可能な専用測定スタンドが用意されており、サンプル計測を効率良く行うことができる。計測範囲：15μm-14mm、分解能：1μm(Tanalys計測ソフト使用時）、繰返し精度：±1μm以内(2mm圧ガラス板50回測定時)、使用波長：1310nm、測定面許容チルト角：±0.2°(レンズアダプターなし)、サンプリング周波数：15Hz、スポット径：700μm(レンズアダプターなし)、最大出力：1.2V(アナログ)。成形ガラスの内部形状測定および表面うねり測定をはじめ、合わせレンズ、φ1.5ボールレンズ、シリコンウェハ、食品パックシール部などの測定に好適。