微小領域膜厚測定装置 F40
最終更新日:2018/09/15
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微小領域の膜厚を瞬時に測定
【F40】は、CMOUNTを搭載した顕微鏡に接続することで微小領域の膜厚測定が行えるシステム。モニタ視野範囲や測定スポットサイズは、使用する対物レンズの倍率で決まり、光源は顕微鏡搭載のランプを使用。操作は極めて簡単で、瞬時に膜厚を測定することが可能。膜厚測定範囲は20nm～120μmに対応。
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