気体加熱器 クリーンホットミニ CLMシリーズ

【クリーンホットミニ CLMシリーズ】は、特殊細径ヒーターおよび特殊構造の採用により加熱効率がよく、加熱対象ガスの正確な温度制御が可能な電気ヒーター。従来の「クリーンホット」とは異なり、ヒーターとガス流路を隔離したため、対象ガスはヒーター表面に触れることなく、クリーンに加熱できる。内部特殊構造により、断熱材を使用しなくても外表面温度の低温化を実現。断熱材が不要なため、クリーンルームなどの環境で使用可能。出口温度は、最高500℃まで設定ができる(空気流量：2～30L／min 条件)。温度制御用と過昇温防止用の熱電対を標準装備。