非接触3次元表面形状計測システム NanoStation 2000
最終更新日:2019/02/07
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コンパクトな省スペース設計を実現
【NanoStation 2000】は、波長コンフォーカル方式の非接触3次元表面形状計測システム。最高2nmの高分解能で物体表面の高さ測定を行うことが可能。微小形状、表面粗さ、組織解析の高さ計測を初め、薄膜やガラスなどの厚さ計測や表面欠損、異物検査など用途は広範。金属、透明フィルムなどさまざまな材料・材質に対応可能。
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