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RFイオンガン OMI-0850series

(株)オメガトロン

最終更新日:2014/06/25

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  • RFイオンガン OMI-0850series
nmオーダーの超精密加工を実現
【OMI-0850series】は、nmオーダーの超精密加工を可能とする、RF励起方式のイオンガン。大電流のイオンビームを長時間安定的に照射可能なため、精密素子などの加工時間を短縮でき、独自のニュートラライザー(オプション)を搭載することにより絶縁物の加工も行える。IBF(Ion Beam Figurin)gはもちろんのこと、細く収束制御されたビームはIBSイオンビームスパッタ成膜にも対応可能。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
(株)オメガトロン
住所：
〒 312-0058
ひたちなか市西光地2-22-12
Web：
http://www.omegatron.co.jp/
TEL：
0292713731