ウエハー上のデバイスノイズを測定／モデリングできる独自の機能を備える1/fノイズ・RTN（ランダム・テレグラム・ノイズ）測定システムを発表
2016/08/10
キーサイト・テクノロジー株式会社
～ウエハーレベルのソリューションプラットフォームに低周波ノイズ測定を統合～
ハイライト
■新しい1/fノイズ・RTN（ランダム・テレグラム・ノイズ）測定システムとWaferPro Expressの統合により、DC特性、キャパシタンス、RF Sパラメータの測定とともに、ターンキーノイズ測定を実現
■ソフトウェアモジュールは、DC特性、1/fノイズ、ランダム・テレグラフ・ノイズを測定するだけでなく、データ解析機能も提供
■Cascade Microtech社との緊密な連携により、すべての主要なウエハー・プロービング・システムの自動制御による完全な統合型オンウエハーソリューションを実現
東京、2016年8月4日発 – キーサイト・テクノロジー合同会社（職務執行者社長：チエ ジュン、本社：東京都八王子市高倉町9番1号）は、高速、高精度かつ、再現性が高い低周波ノイズ測定が可能な1/fノイズ・RTN（ランダム・テレグラム・ノイズ）測定システムであるAdvanced Low-Frequency Noise Analyzer（A-LFNA)を発表します。 今回のリリースでは、新しいユーザーインタフェースの装備、およびキーサイトのWaferPro Expressソフトウェア（半導体デバイスの自動ウエハーレベル測定が可能なソフトウェア）との統合を実現しています。WaferPro Expressとの統合により、エンジニアはこれまでのシステムを超える広範囲のノイズ測定を実施し、デバイスおよび回路内のノイズに関するより深い知識を得ることができます。
最新の半導体デバイスの特性評価に携わるエンジニアは、柔軟性と拡張性に優れたノイズ測定システムを必要としています。 特に、全てのウエハーレベルの特性評価を単一のプラットフォームで管理し、高性能な低周波デバイスのノイズ測定／解析機能を備えるシステムを求めています。 キーサイトのA-LFNAとWaferPro Expressソフトウェアのシームレスな統合は、まさにそれを実現したものといえます。 この統合型ソリューションを使用すると、コンポーネント、ディスクリートデバイス、集積回路でのノイズ測定が、パッケージレベルとウエハーレベルのどちらにおいても、容易になります。 エンジニアはこれまでと同様、WaferPro Expressを使用して、ウエハープローバー制御を自動化しながら、高速DC、キャパシタンス、RF Sパラメータの測定のプログラムとシーケンス設定をすべて実行することができます。 さらにテスト項目にノイズの測定／解析機能を追加できるようになりました。
A-LFNAに測定ルーチンが内蔵され、DC測定とノイズ測定がターンキー操作で実施できます。 例えば、N型のMOSFETのノイズを測定する場合、デバイスノイズを適切に測定できるように、システムが自動的に最適なソースインピーダンスと負荷インピーダンスを選択します。 測定を開始する際に、エンジニアはシステム推奨設定のまま測定を実施するか自分で最適な設定に変更するか選択が可能です。 次にA-LFNAはノイズのパワースペクトル密度（1/fノイズ）と、タイムドメイン内のノイズ（RTN)を測定し、測定データはマルチプロット・データ・ディスプレイ・ウィンドウにプロットされます。 さまざまなウィンドウタブを使用すれば、デバイスのDC動作ポイントの評価およびパワースペクトル密度曲線のスロープの測定のような共通の作業が容易に行えます。 キーサイトのMBPやIC-CAPなどのデバイスモデリングツールを使用して、デバイスモデル内でノイズデータを解析して表示することも可能です。 回路設計者はこれらのデバイスモデルを使用することで、非常に正確なRFおよびアナログ低雑音回路デザインを作成できます。
当社のバイスプレジデント兼Design and Test Software統括マネージャーであるTodd Cutlerは次のように語っています。「デバイス特性評価とモデリングをされる当社のお客様は、GaNの信頼性、CMOSのモデリングから磁気センサーのテストまで、幅広いテストニーズを抱えています。 A-LFNA用の新しいソフトウェア・ユーザー・インタフェースは、DC測定からキャパシタンス測定、マイクロ波周波数でのSパラメータ測定まで、さまざまな測定オプションを取り揃えているだけでなく、複数のウエハーでデバイスノイズの測定とモデリングを実行できる独自の機能も加わりました。」
キーサイトのA-LFNAには、業界最高のノイズ感度（－183dBV2/Hz）が備わっているため、デバイスモデリングおよび回路評価に従事するエンジニアが、200Vまでの高電圧や、0.03Hzまでの超低周波数まで、迅速かつ正確にデバイスを特性評価できます。 こうした機能を備えたA-LFNAは、半導体ファウンドリによるプロセスデザインキット開発やデバイス製造中の統計プロセス制御に最適です。 オペアンプやリニア電圧レギュレーター等の集積回路メーカーは、A-LFNAをデータシートに記載する出力電圧ノイズ仕様の測定に使用することもできます。
ハイライト
■新しい1/fノイズ・RTN（ランダム・テレグラム・ノイズ）測定システムとWaferPro Expressの統合により、DC特性、キャパシタンス、RF Sパラメータの測定とともに、ターンキーノイズ測定を実現
■ソフトウェアモジュールは、DC特性、1/fノイズ、ランダム・テレグラフ・ノイズを測定するだけでなく、データ解析機能も提供
■Cascade Microtech社との緊密な連携により、すべての主要なウエハー・プロービング・システムの自動制御による完全な統合型オンウエハーソリューションを実現
東京、2016年8月4日発 – キーサイト・テクノロジー合同会社（職務執行者社長：チエ ジュン、本社：東京都八王子市高倉町9番1号）は、高速、高精度かつ、再現性が高い低周波ノイズ測定が可能な1/fノイズ・RTN（ランダム・テレグラム・ノイズ）測定システムであるAdvanced Low-Frequency Noise Analyzer（A-LFNA)を発表します。 今回のリリースでは、新しいユーザーインタフェースの装備、およびキーサイトのWaferPro Expressソフトウェア（半導体デバイスの自動ウエハーレベル測定が可能なソフトウェア）との統合を実現しています。WaferPro Expressとの統合により、エンジニアはこれまでのシステムを超える広範囲のノイズ測定を実施し、デバイスおよび回路内のノイズに関するより深い知識を得ることができます。
最新の半導体デバイスの特性評価に携わるエンジニアは、柔軟性と拡張性に優れたノイズ測定システムを必要としています。 特に、全てのウエハーレベルの特性評価を単一のプラットフォームで管理し、高性能な低周波デバイスのノイズ測定／解析機能を備えるシステムを求めています。 キーサイトのA-LFNAとWaferPro Expressソフトウェアのシームレスな統合は、まさにそれを実現したものといえます。 この統合型ソリューションを使用すると、コンポーネント、ディスクリートデバイス、集積回路でのノイズ測定が、パッケージレベルとウエハーレベルのどちらにおいても、容易になります。 エンジニアはこれまでと同様、WaferPro Expressを使用して、ウエハープローバー制御を自動化しながら、高速DC、キャパシタンス、RF Sパラメータの測定のプログラムとシーケンス設定をすべて実行することができます。 さらにテスト項目にノイズの測定／解析機能を追加できるようになりました。
A-LFNAに測定ルーチンが内蔵され、DC測定とノイズ測定がターンキー操作で実施できます。 例えば、N型のMOSFETのノイズを測定する場合、デバイスノイズを適切に測定できるように、システムが自動的に最適なソースインピーダンスと負荷インピーダンスを選択します。 測定を開始する際に、エンジニアはシステム推奨設定のまま測定を実施するか自分で最適な設定に変更するか選択が可能です。 次にA-LFNAはノイズのパワースペクトル密度（1/fノイズ）と、タイムドメイン内のノイズ（RTN)を測定し、測定データはマルチプロット・データ・ディスプレイ・ウィンドウにプロットされます。 さまざまなウィンドウタブを使用すれば、デバイスのDC動作ポイントの評価およびパワースペクトル密度曲線のスロープの測定のような共通の作業が容易に行えます。 キーサイトのMBPやIC-CAPなどのデバイスモデリングツールを使用して、デバイスモデル内でノイズデータを解析して表示することも可能です。 回路設計者はこれらのデバイスモデルを使用することで、非常に正確なRFおよびアナログ低雑音回路デザインを作成できます。
当社のバイスプレジデント兼Design and Test Software統括マネージャーであるTodd Cutlerは次のように語っています。「デバイス特性評価とモデリングをされる当社のお客様は、GaNの信頼性、CMOSのモデリングから磁気センサーのテストまで、幅広いテストニーズを抱えています。 A-LFNA用の新しいソフトウェア・ユーザー・インタフェースは、DC測定からキャパシタンス測定、マイクロ波周波数でのSパラメータ測定まで、さまざまな測定オプションを取り揃えているだけでなく、複数のウエハーでデバイスノイズの測定とモデリングを実行できる独自の機能も加わりました。」
キーサイトのA-LFNAには、業界最高のノイズ感度（－183dBV2/Hz）が備わっているため、デバイスモデリングおよび回路評価に従事するエンジニアが、200Vまでの高電圧や、0.03Hzまでの超低周波数まで、迅速かつ正確にデバイスを特性評価できます。 こうした機能を備えたA-LFNAは、半導体ファウンドリによるプロセスデザインキット開発やデバイス製造中の統計プロセス制御に最適です。 オペアンプやリニア電圧レギュレーター等の集積回路メーカーは、A-LFNAをデータシートに記載する出力電圧ノイズ仕様の測定に使用することもできます。
