SLAシリーズは半導体、電子部品、バイオ等の分野で必要とされる高精細のスキャニング用途にデザイン開発された製品です。可動部が非常に軽いため、高速／高加速度での動作が可能です。また、ダイレクトドライブのためバックラッシュがありません。高剛性でかつ低摩擦のクロスローラガイドを内蔵。電動コイルは磁場を形成するクロスローラガイドの中心に配置されているため、非常に安定した動きを実現します。SLAシリーズの最小分解能は50nmから展開しています。

[仕様]
寸法：40×65×25mm
ストローク：10 (+1/-0) mm
最大推力：4
nエンコーダ分解能：5µm標準 (1/0.1/0.05µmはオプション)
クロスローラガイド内蔵