〜卓上でのエキシマ光実験が低価格（25万円）で可能に〜

ウシオ電機株式会社（本社：東京都、代表取締役社長 菅田 史朗、以下 ウシオ）は、エキシマランプを搭載した本体がA5サイズの簡易実験用エキシマ光照射装置「Min-Excimer（以下、ミニエキシマ）」を2012年12月から販売開始します。

エキシマ光はフラットパネルディスプレイの光洗浄やプラスチックの表面改質など、さまざまな製造プロセスで用いられていますが、その発光特性から照射器内部を高純度なＮ2（窒素）で満たす必要があるため、構造上、卓上レベルでの簡易かつ柔軟な実験を行なうことができませんでした。

そこでウシオは、世界で初めて※1製品化した「エキシマランプ」をベースに、N2ユーティリティを使用しないシンプルな構造にしたことで、コンパクトな卓上タイプのエキシマ光照射器を開発しました。

これにより、従来ではスペース面、コスト面などで導入が困難だった大学や企業および研究機関でも手軽に導入でき、実験機会が増やせるため、各種産業でのエキシマ光のアプリケーション開発など、新たな応用展開が可能です。

なお、本製品は2012年12月5日（水）〜12月7日（金）に、幕張メッセで開催される「SEMICON Japan 2012（ブース番号4C-704）」において、実機とパネルの展示を予定しております。

※1）自社調べ

■特長
・シンプルな構造により、低価格を実現
・N2ユーティリティを使用しないため、卓上で手軽に実験、持ち運びが可能

■主な用途
・メタンやNOｘの分解
・活性酸素やオゾンの生成
・液晶・半導体材料、医療分野などでの有機物分解
・太陽電池製造での酸化膜生成など