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微小寸法測定システム マイクロラインシリーズ
最終更新日:2014/01/30
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ウエハ、光ファイバMEMSなどに対応
【マイクロラインシリーズ】は、ウェハ、光ファイバ、MEMSなどのアプリケーションに対応した高精度の微小寸法測定システム。独自の測定管理ソフトウェア、高精度顕微鏡、コンピュータ、画像処理コンポーネントで構成。測定精度0.01μm、再現性1б=4nm/2nm、オプションでウェハロード、オートステージ、透過光などを用意。
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