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社名:
(株)エー・アンド・デイ
住所:
〒 170-0013
豊島区東池袋3-23-14 ダイハツニッセイ池袋ビル
Web:
http://www.aandd.co.jp/

半導体製造・検査装置向けコンポーネント 高圧電源

(株)エー・アンド・デイ

最終更新日:2026/11/11

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  • 半導体製造・検査装置向けコンポーネント 高圧電源
半導体の超微細加工と制御を担う技術を提供
エー・アンド・デイは、大容量化・微細化が進む半導体に対し、トップクラスの出力と、安定性・稼働率を備えた製品を供給。独自のA/D・D/A変換テクノロジーを応用した超高速・高精度D/A変換器(DAC)により、電子ビーム描画装置において要となる電子銃への安定した出力を提供する高電圧電源(TFE用、LaB6用)をはじめ、電子銃偏向用定電流電源(アライメント、レンズ用)、電子銃(TFE用)、および電子ビームの位置制御を行うビーム偏向用DACAMPユニットを提供。いずれも各装置メーカーに採用実績を有する。またカスタマイズにも対応している。

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半導体製造・検査装置向けコンポーネント 高圧電源
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