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FIBイオン銃用高圧電源 IB303XS

フューテックス株式会社

最終更新日:2014/02/01

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  • FIBイオン銃用高圧電源 IB303XS
＋30kV高圧電源・汎用タイプ、静電レンズ電源2系統搭載
【IB303XS】は、高安定度、低リップルを実現したFIB向け汎用タイプの高圧電源。IBイオン銃駆動に必要なエミッタ加熱電流源、抑制電源、引出電源、加速電圧基準の静電レンズ電源×1、GND規準の静電レンズ電源×1を装備。空気(ハイブリッド)絶縁方式採用しており、FIB装置(イオンビーム集束装置)、FIBウェハリペア装置、デュアルビーム装置といったアプリケーションでの利用に適している。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
フューテックス株式会社
住所：
〒 196-0031
昭島市福島町２−２８−３
Web：
http://www.futex.jp/