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フューテックス株式会社
住所：
〒 196-0031
昭島市福島町２−２８−３
Web：
http://www.futex.jp/

電子銃用高圧電源 FE503XP

フューテックス株式会社

最終更新日:2014/02/01

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  • 電子銃用高圧電源 FE503XP
加速電圧-50KV電子銃用、マルチ出力、超高安定、低リップルノイズ
【FE503XP】は、サーマルFE電子銃駆動に必要な各種電源をすべて内包した電子線リソグラフィ向けの電子銃用高圧電源。空気(ハイブリッド)絶縁方式を採用し、超高安定度、超低リップルを実現。主なアプリケーションは、TFE電子銃タイプ電子線リソグラフィ(電子ビーム描画装置)。
    　　　　　　　　

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