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ウエハケミカル洗浄装置 ME100

マック産業機器株式会社

最終更新日:2014/02/01

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  • ウエハケミカル洗浄装置 ME100
処理枚数は1〜3枚と少量対応、研究・実験の用途に最適
【ME100】は、ウエハデバイス前工程終了後の8インチウエハに、薬液槽を2槽備えたケミカル処理および2段階リンス洗浄処理をマニュアルにて行うコンパクト洗浄装置。また、将来、処理槽を2槽追加可能な設計となっている。主に3次元実装の洗浄工程の研究開発用実験機として好適。100V電源で設置に制約はなく、コンパクト設計で1m2あれば設置可能と経済的。
    　　　　　　　　

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