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全自動FOUP洗浄システム UPC-1200R

ヒューグルエレクトロニクス(株)

最終更新日:2017/11/15

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  • 全自動FOUP洗浄システム UPC-1200R
超音波ジェット純水による超精密洗浄を実現
【UPC-12000R 】は、FOUPドアの高速回転によるスピード乾燥が可能な全自動FOUP洗浄システム。汚染防止にとどまらず、手作業による破損、シェルとドアの取り違えなどのミス防止、そして作業者の重労働からの解放等、多くのメリットを持つ。自動開閉機構により、時間・労力の節減し、クロスコンタミネーションを予防する。

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社名:
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〒 102-0072
千代田区飯田橋4-5-7
Web:
http://www.hugle.co.jp