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フォトマスク洗浄装置 TW-300

(株)テクノビジョン

最終更新日:2017/08/18

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  • フォトマスク洗浄装置 TW-300
スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実行、スモールフットプリント
【TW-300】は、ワークのスクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台でスピーディに行う小型フォトマスク洗浄装置。両面洗浄に適した縦型設計で、特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けずに洗浄ムラなく精密洗浄を行える。少量多品種、R&D用途の基板洗浄にも最適。半導体、液晶、有機EL、カラーフィルタ、薄膜デバイスなど用途は広範。また、縦型処理のため、ワークへのストレスを低減。各種オプションも用意。カスタムに対応。

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