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大気圧プラズマ洗浄装置 Aiplasma窒素ライン型NLシリーズ

パナソニック(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • 大気圧プラズマ洗浄装置 Aiplasma窒素ライン型NLシリーズ
【Aiplasma窒素ライン型NLシリーズ】は、基板の表面清掃などに使われている装置。空冷方式採用でヘッドの小型化を実現。製造ラインなどのロボットに搭載可能で、既存の工場への設置も容易。使用ガスには低価格の窒素ガスを使用。ランニングコスト削減にも貢献。
    　　　　　　　　

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