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ガラス基板洗浄装置 MAC-6000

マック産業機器株式会社

最終更新日:2014/01/31

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  • ガラス基板洗浄装置 MAC-6000
洗浄幅は400mmで処理能力は20秒／1基板
【MAC-6000】は、最小75×75mm、最大250×350mmの洗浄物を対象としたガラス基板洗浄装置。受取りコンベアに基板が自動的に供給され、ブラシ洗浄、シャワー、2流体、水切り乾燥を行い、整列し、下流装置に送り出す工程を枚葉式で行う。洗浄幅400mm（有効幅250mm）で、処理能力は20秒／1基板。寸法3600×1500×1350mm。
    　　　　　　　　

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