シリコンリング

本製品は、半導体製造装置用部材、CVD装置用部材、アニール炉用部材、拡散炉用部材、液晶製造装置用部材、スパッタリングターゲット材料などに使用されている装置用Siパーツ。外径：φ300～475mm。内径および厚みはオーダーメイドで作製可能。