ピエゾ制御クロスローラーベアリング X軸アルミステージ
最終更新日:2023/12/21
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XY軸やXYZ軸ステージを容易に構築可能
本製品は、同社のソリッドトップモデルに微調用・20nm分解能のピエゾアクチュエータを装備ししたベアリング。クロスローラーベアリングガイドシステムが高次元の精度、剛性および耐荷重を提供するのに対し、ピエゾムーブメントがより正確な位置決めを行う。ピエゾコントローラは接続や使用が容易で、アクチュエーターの動きを制御するインデックス付きの電圧制御つまみと、アクチュエーターを所定の位置に固定するスイッチ式ロック機能を搭載。半導体検査、DNAシーケンシング、医療診断など、一連のナノポジショニングアプリケーションに好適。本ステージは、ステージ面中央のタップ穴に「¼-20UNC」を採用するインチねじホールパターンと、M6のミリねじを採用するミリねじホールパターンをラインナップし、他の手動ステージと組み合わせて、多軸構成のステージを構築することが可能。40×40mmと70×70mmのインチとミリねじホールパターンをラインナップ。
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