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(1)レーザー発振器：ピコ秒レーザー(IR、グリーン、UV)／フェムト秒レーザー(IR)
(2)位置決め装置：移動量1150×450mm、位置決め精度±2μm、繰り返し精度±1μm、最大移動速度500mm／秒
(3)加工エリア：固定光学系、トレパニングヘッド、スキャナーの3箇所／加工ステーション450×450mm(3箇所)
(4)寸法・重量：幅2900×奥行1700×高さ1950mm・4800kg