光ナノインプリント装置
最終更新日:2015/06/04
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空気加圧一括転写方式
【卓上型光ナノインプリント装置】は、高精度金型位置合わせ機能（X、Y、θ）を備えた空気加圧一括転写方式のナノインプリント装置。主な特長は、金型応力緩衝ハンドリング治具方式、転写ステージ前方引出方式、転写ステージ高速昇降方式などで、ハイコストパフォーマンスでデスクトップナノファクトリーを実現。
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