インライン対応プラズマ洗浄装置 FlexTRAK
最終更新日:2014/01/31
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基板搬送ユニットとの組合せでシステムアップが可能
【FlexTRAK】は、実験開発用途のコンパクトな装置としての一面だけではなく、様々な基板搬送ユニットとの組合せによりシステムアップが可能なインライン対応プラズマ洗浄装置。5ストリップを同時処理可能なインラインシステムや最大300mmのウェハーの処理まで対応も可能である。また、従来のRIE方式のみであったプラズマモードは、DP方式へ切り替えができるようになった。
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